Półprzewodnikowe czujniki przyspieszenia
Artykuł zredagowany przez Pana Mirosława Kowalskiego
Data dodania opublikowania artykułu na tej stronie: 2011-10-22 15:31:51
Firma EC&G IC Sensora z USA rozpoczęła swoją działalność w dziedzinie przyspieszeniomierzy w roku1 1984 pracami nad układem 2 g.Doprowadziły one do wyprodukowania pierwszego przyspieszeniomierza w 1997 roku.Najnowszym przyspieszeniomierzem firmy jest układ 3255.Jest to dwupokładowy, zawierający zarówno czujnik jak i układ sterująco-analizujący, który opracowano specjalnie do tej aplikacji.Wygląd tego układu przedstawiono w zakupionym podręczniku.Układ 3255 jest obecnie używany w różnych systemach samochodowych poduszek powietrznych.EG&G IC Sensora opracował także wersję przyspieszeniomierza 500 g, który jest przeznaczony do detekcji uderzeń bocznych.
radio bielsko |Element czujnikowy w układzie 3255 jest kształtowany przez wytrawienie w płytce krzemowej trójwymiarowej struktury mechanicznej.Masa sejsmiczna jest następnie łączona z ramą krzemową za pośrednictwem czterech prętów.W prętach tych implantuje się czułe na nacisk piezo rezystory, zmieniające swoją oporność pod naciskiem masy sejsmicznej w trakcie przyspieszania.Zabezpieczenie przed przekroczeniem zakresu zapewniają przytwierdzone do płytki od góry i od dołu kapturki krzemowe, ograniczające ruch masy sejsmicznej.Kapturki te wywołują także tłumienie powietrzne, kontrolujące charakterystykę częstotliwości czujnika.Cienka warstwa powietrza działa jak poduszka tłumiąca się rezonanse struktury mechanicznej.W czujniku zastosowano również opatentowany układ auto-testu, wykorzystujące elektrodę na górnym kapturku.